什么是MEMS?

微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。

如今，我国作为全球最大的电子产品生产基地，正消耗着全球四分之一的MEMS器件。但目前，我国大部分MEMS传感器仍依赖进口。国内MEMS传感器也仍以中低端为主，技术相对落后，这一局面将在较长时间里一直存在下去。那么，各家MEMS企业又该如何摆平心态，正视这一挑战，从而寻找其中的发展商机呢？

中国正消耗着全球四分之一的MEMS器件

三大挑战：技术研发、产业链竞争力、价格影响

中国MEMS厂商面临的挑战非常多。首先，缺乏高端研发人员和经验丰富的本土MEMS工程师，导致基础研究落后。同时，MEMS传感器商业化应用周期长，MEMS传感器研发时间更长，这对MEMS企业的耐心、远见是一个很大挑战。

另一方面，中国MEMS产业链在竞争方面，力量还较薄弱，没有产生在国际市场上具有领导地位的企业。MEMS传感器和IC芯片一样，具有很强的规模效应，国内企业出货量上不去，导致整个产业链，例如前端流片等环节加工能力薄弱，一致性、生产重复性都不能满足设计加工工艺要求。因此，整个MEMS产业链均处于投入阶段，盈利比较困难，产生了恶性循环。

系统厂商对于MEMS产品需求量很大

此外，价格下滑导致MEMS厂商盈利困难。MEMS传感器产品的价格，并非与产品的重要性或开发难度成正比。例如，据统计数据显示，从应用广泛和竞争激烈的陀螺仪和加速度传感器市场来看，价格每季度下跌3％至5％，系统厂商对于MEMS产品需求量很大，但是它们也已经把价格杀到MEMS厂商难以为继的地步。

四大趋势：新兴器件、新应用、颠覆性技术、新设计

面对上述挑战，国内MEMS厂商如何树立信心，寻求机遇呢？

首先必须承认，中国是最大电子生产和消费大国，终端消费市场巨大，该优势应该可以给各家MEMS厂商给予一定信心。而且受物联网市场驱动，MEMS传感器的市场增量将相当可观。另外，MEMS传感器产品多样，也有巨大的创新空间。

MEMS传感器制造需要依赖发达的半导体微加工技术

另一方面，根据MEMS传感器的特点，MEMS传感器一直依赖于使用基于半导体的微加工技术来制造器件，以取代更为复杂、笨重或不敏感的传感器。据此，未来将有四大趋势改变MEMS市场格局。它们分别是：新兴器件、新应用、颠覆性技术、新设计。

简单来说就是：新兴器件，如微镜和环境组合传感器；新应用，如压力传感器应用于位置或高度感测；颠覆性技术，包括封装、新材料，如压电薄膜和300mm/12寸晶圆；新的设计，包括NEMS纳机电系统和光学集成技术。

物联网是我国未来十年的核心发展战略，MEMS传感器则是物联网中不可或缺的一环，下一个十年，会涌现出远比现在主流MEMS传感器更有市场前景的MEMS产品，期待中国MEMS产业能跻身世界前列。

微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。

生产微机电系统的公司的大小各不相同。大的公司主要集中于为汽车、生物医学或电子工业生产大批量的便宜的系统。成功的小公司则集中于生产创新的技术。所有这些公司都致力于研究开发。随着传感器的发展微机电系统的复杂性和效率不断提高。